異径：ラバーダクト
材質フッ素ゴム
硬度60
サイズΦ330-300×Φ320×182Ｌ
フッ素ゴム単体の「ラバーダクト」です。
半導体装置間の溶液移送に使用されていますが
各装置の口径が異なる為、フランジ面の外径寸法が異なっています。
装置高さの位置がずれており
装置稼働の際には微振動が生じるので
振動吸収を狙い、硬度６０°と設定しました。
フランジ面の高さが違う為
外径寸法加工においては、難度の高い加工となりました。
フランジ部のキリ穴についても
外周部に近い穴位置の為
穴加工の際、破れなどが発生しないよう細心の注意の上
製作加工を行う必要がありました。
フッ素ゴムの選定理由は、耐熱性と耐薬品性からです。
耐熱温度に至っては、２２０～２３０℃が安全使用温度となり
今回の使用条件に耐えうる安全温度域でした。
試作から製作させていただき
実施使用の良好判断から本製作に至り
定期的な交換で御依頼を続けていただいております。